針對目前大多數標準漏孔的漏率都是在He和入口壓力為100kPa下的漏率，采用定容變壓法校準了銘牌漏率為2.3×10-6Pa·m3/s的標準真空漏孔在使用H2、He、D2三種氣體時，在不同入口壓力下的漏率。預先對系統進行了加熱除氣后計算了系統...

*近日英國訪問之行，所到之處皆為焦點。敏銳的投資者更是從*參觀曼徹斯特大學英國國家石墨烯研究所的行程中，嗅到了石墨烯發展的機遇。從該校安德烈·海姆和康斯坦丁·諾沃肖洛夫于2004年分離出石墨烯并獲得2010年諾貝爾物理學獎至今，相關研究已在...

為使濺射系統所用靶的數量減少，盡量用一個靶就能濺射沉積制取符合成分及性能要求的合金薄膜，可以采用合金靶、復合鑲嵌靶、以及采用多靶濺射等。一般說來，在放電穩定狀態下，按照靶的成分，各種構成原子分別受到濺射作用，濺射鍍膜比真空蒸鍍和離子鍍的一個...